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至今没有EUV芯片!英特尔:现有及在建晶圆厂基本情况!

我们知道台积电、三星从两年多前已经开始采用EUV为客户代工芯片,这包括海思、高通、苹果、AMD、英伟达等。

但是反观英特尔,采用EUV光刻机晶圆厂确只是才开始建设,目前所生产的芯片,包括前几天推出的号称世界最快桌面处理器的 Corei9-12900KS 依然是非EUV设备来生产的。i9-12900KS采用的是 Intel 7 制程工艺,按英特尔的说法应该相当于台积电或三星的7纳米工艺。虽然没有用到EUV设备,但是英特尔依然能制造出全球最快处理器。

接下来我们盘点一下英特尔的现有以及在建晶圆厂基本情况。如果你回顾一下英特尔作为微处理器制造商的历史,你就会发现他们通常都在增加他们最新的进程节点(n),在之前的节点(n-1)上进行量产,并在再前一代的节点(n-2节点)上进行适当减量。他们通常不会在生产中保留旧的节点,例如,去年10nm是n, 1Intel 4是n-1,22nm是n-2。英特尔在11X工厂有一些32纳米的产能,但现在已经被转换为封装工厂。这与台积电(TSMC)形成了鲜明对比,台积电在2001年建造了第一家130 – 300毫米晶圆厂,现在仍在运营,此外还有他们的90、65、40和28纳米晶圆厂。

按照英特尔的路线图,到 2022 年底,英特尔应该会增加Intel 4 节点,然后在 2023的Intel 3 节点,到 2024 年将会投产 Intel 20A和18A节点。所有这些都是基于 EUV 的节点,到 2024 年底英特尔将很少使用基于非 EUV 的微处理器生产工艺,因为它们的 7nm/10nm 非 EUV 节点将是 n-4/n-5 代的工艺了,这似乎是合理的,取决于你如何处理 10nm/7nm。如果我查看英特尔当前和计划中的 Fab 产品组合,我们会看到有一些具有EUV 能力的晶圆厂和不太可能用于 EUV 的较旧的晶圆厂,实际上 EUV 光刻机需要天车,而且英特尔的许多较旧的晶圆厂可能需要进行重大的结构修改适应这一点,再加上英特尔正在建设 9 个基于 EUV 的生产工厂。

以下是对英特尔晶圆厂的逐一分析:

  • 新墨西哥州 –Fab 11X 第 1 期和第 2 期是英特尔最古老的生产晶圆厂,它们正在转换为封装晶圆厂。11X-3D 可能会继续为 3D Xpoint 运行。英特尔最近讨论了另外两代 3D Xpoint,这是目前唯一可以生产3D Xpoint的地方。
  • 俄勒冈州——FabD1X 第 1、2 和 3阶段现在领导英特尔所有基于 EUV 的开发和早期生产。D1C/25 和D1D 晶圆厂是较老的开发/生产晶圆厂,不太可能转换为 EUV,目前用于非 EUV 生产。
  • 亚利桑那州——Fabs 52 和 62 是正在建设中的 EUV 工厂。Fab 42 目前正在运行非 EUV 节点,但它是作为具有 EUV 能力的 Fab 建造的,有可能有一天会用于 EUV。Fab 12 和 32 是运行非 EUV 节点的生产工厂,可能永远不会转换为EUV。
  • 爱尔兰——Fab34 是一个正在建设中的 EUV 工厂,目前正在搬入设备,这可能是英特尔的第一个 Intel 4 EUV 节点生产基地。Fab 24 第 1 阶段和第 2 阶段是非 EUV 生产基地,可能永远不会用于 EUV(除非它们在某个时候与 Fab 34 合并)。
  • 以色列——Fab38 是一个正在建设中的 EUV 晶圆厂,将成为 Intel 4 EUV 节点生产基地。Fab 28 第 1 阶段和第 2 阶段是非 EUV 节点生产,可能永远不会用于 EUV(除非它们在某个时候与 Fab 34 合并)。
  • 俄亥俄州 –Silicon Heartland 基于 EUV 的晶圆厂 1 和 2 正处于规划阶段。
  • 德国——基于硅结EUV 的晶圆厂 1 和 2 正处于规划阶段。

总之,英特尔正处于运行、建设或规划以下基于 EUV 的晶圆厂的不同阶段,D1X 阶段 1、2 和 3,Fab42、52 和 62,Fab 34,Fab 38,Silicon heartland 1 和 2 以及Silicon Junction 1 和 2。即 3 个开发晶圆厂/阶段和 9 个基于 EUV 的生产晶圆厂。

对于仍在运行的非 EUV 晶圆厂,英特尔拥有 D1C/25、D1D、Fabs 12 和32、Fab 24 第 1 和第 2 阶段以及 Fab 28 第 1和第 2 阶段。即 8 个非 EUV 生产晶圆厂。这确实说明了为什么英特尔希望进入代工业务并支持后沿工艺。所有这些晶圆厂都可用于生产英特尔的任何非 EUV 10nm/7nm 和更大的工艺,加上设备组的合理变化,他们将从对以色列Tower收购的任何工艺中获得。

参考原文:https://semiwiki.com/semiconductor-services/ic-knowledge/309633-euv-and-intel-foundry-services/

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