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华科大教授获“科学探索奖”,研究方向或突破集成电路制造技术瓶颈

9月13日,2021年“科学探索奖”第三届获奖名单公布,华中科技大学教授陈蓉获得“先进制造”类奖项,其获奖理由为“肯定她在原子制造的高精度定位、一致性和高效率方面取得的成果,支持她在集成电路先进制程的原子尺度协同制造方向进行探索”。

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