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华海清科首台十二英寸超精密晶圆减薄机出货

作为我国集成电路装备行业的核心企业之一,华海清科股份有限公司成功推出了具有自主知识产权的十二英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300,于9月27日发往某客户大生产线。

这款设备能满足3D IC制造、先进封装等制程的超精密晶圆减薄工艺需求,可提供超精密磨削、抛光、后清洗等多种功能配置,具有高刚性、高精度、工艺开发灵活等优势,主要技术指标达到了国际先进水平,填补了集成电路3D IC制造及先进封装领域中超精密减薄技术的空白。

Versatile-GP300采用的工艺很巧妙。团队在设计之初,创新性地将高效减薄和抛光工艺集成,既能实现超平整减薄与表面损伤控制,又兼顾高效率与综合性价比,更匹配3D IC晶圆减薄市场的迫切需求。

在我国3D IC制造、先进封装等领域中,十二英寸高精度晶圆减薄机全部依赖进口。如今,华海清科的首台十二英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300已完成厂内测试,出机进入客户产线验证。这是华海清科又一产品在实现国产半导体装备自主可控道路上的重要突破。

“念念不忘,必有回响”。华海清科团队在自主研发道路上,始终秉承着初心,一如既往地用精益求精的态度,不断追求技术突破,不断丰富产品系列,为加速推动集成电路国产设备替代进程、更好地服务社会贡献力量。

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